(1) 壓力生成方式

微壓壓力校驗儀通常采用以下方法產(chǎn)生精確的微小壓力：

電動氣壓泵：通過精密步進電機驅(qū)動活塞或波紋管，壓縮/釋放氣體（如空氣或氮氣），生成可控微壓。

微流量控制閥：調(diào)節(jié)氣體流量，結(jié)合高精度壓力傳感器閉環(huán)反饋，穩(wěn)定輸出目標壓力。

手動壓力源（如手操泵）：適用于低成本場景，依賴人工操作產(chǎn)生壓力（精度較低）。

 

(2) 壓力測量原理

高精度壓力傳感器：采用硅諧振式、電容式或壓阻式傳感器，測量生成的微壓信號。

硅諧振傳感器：通過諧振頻率變化檢測壓力，精度可達±0.01% FS。

電容式傳感器：利用極板間距變化測量壓力，抗干擾性強。

溫度補償：內(nèi)置溫度傳感器，修正環(huán)境溫度對壓力測量的影響。

 

(3) 信號處理與顯示

ADC（模數(shù)轉(zhuǎn)換）：將傳感器輸出的模擬信號轉(zhuǎn)換為數(shù)字值。

非線性修正：通過算法補償傳感器的非線性誤差（如多項式擬合）。

人機交互：LCD顯示實時壓力值，支持單位切換（Pa/mbar/inH?O等）。